[AI&칩 워] 7회 CNT 펠리클: 에스앤에스텍·어썸레이 [AI&칩 워] 인공지능(AI) 반도체 패권을 놓고 빅테크 기업들이 벌이는 ‘칩 워(Chip War)’를 파헤칩니다. 반도체 산업에서 펼쳐지는 뜨거운 소식을 독자분들이 알기 쉽게 분석해 드리는 심층 분석 연재물 입니다. 전 세계 반도체 업계는 nm(나노미터) 전쟁을 벌이고 있습니다.2nm(나노미터) 이하의 선단 반도체 공정에서는 극단적으로 미세한 회로 패턴이 필요합니다. 이때 사용하는 기술이 바로 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 노광 기술인데요.EUV는 파장이 13.5nm에 불과한 빛을 이용해 반도체 웨이퍼 위에 회로를 새기는 데 필요한 장비입니다. 하지만 이처럼 짧은 파장의 빛은 그만큼 먼지나 오염 입자에도 극도로 민감합니다. 0.1마이크로미터(μm, 100nm) 수준의 입자 하나만 있어도 결함이 발생해, 칩 전체 수율이 떨어질 수 있기 때문입니다.노광 장비 입자 유입 원천 차단 ASML의 극자외선(EUV·Extreme Ultraviolet) 장비 ASML의 ‘하이 뉴메리컬애퍼처 극자외선(High-NA EUV)’ 장비 노광 장비 내부에서 입자 유입을 원천 차단하는 부품이 필요한데, 그것이 바로 ‘펠리클(Pellicle)’입니다. 펠리클은 노광 마스크를 보호하는 얇은 막으로 보시면 이해가 쉽습니다. 일반적으로 노광 마스크 위에 얇은 투명막을 씌워 먼지를 차단하고, 마스크 자체에는 입자가 닿지 않도록 합니다.하지만 문제는 EUV는 기존보다 훨씬 높은 에너지를 가진 빛이라는 점입니다. 종전 불화 아르곤(ArF)공정에서는 무정형 불소 고분자나 실리콘계 고분자로도 펠리클을 만들 수 있었는데요. EUV 광은 그런 일반 소재들을 녹이거나 투과하지 못하거나 변형시켜버립니다. 때문에 EUV용 펠리클은 열에도 강하고, EUV 광을 거의 흡수하지 않으며, 기계적으로도 안정적인 신소재여야 합니다.오늘날 ASML과 같은 EUV 업체가 고민에 빠진 이유입니다.반도체 생태계는 거대합니다. 여기서 노광 장비만 떼어 놓고 보면 공급망 이정삼 석포교회 원로목사가 지난 1일 부산시 남구 대연동의 석포교회에서 지난 사역 소회를 풀어내고 있다. 스승의 날이 며칠 지난 후 부산 브니엘고등학교에서는 특별한 수업이 진행됐다. 어느새 선생의 나이가 된 중년의 제자들이 아흔을 바라보는 선생님을 위해 마련한 마지막 수업이었다. ‘별의 시간’, ‘엔딩파티’라 불린 이날은 선생과 제자가 미리 작별 인사하는 자리였다. 여기서 ‘엔딩’은 끝이란 의미가 아닌 끝나지 않고 이어진다는 의미의 ‘Anding(앤딩)’이다.이규현(수영로교회) 송길원(하이패밀리) 목사 등 이제는 각계의 어엿한 목회자이자 어른이 된 제자들은 스승을 위해 조의금이 아닌 축하금을 모았고, 고급 ‘오픈카’도 빌려왔다. 선생은 제자들의 발을 일일이 씻겨주며 마지막까지 예수 사랑과 섬김을 몸소 실천했다. 행사 후 선글라스를 끼고 오픈카에 오른 스승은 꽃을 던지며 배웅하는 제자들에게 손을 흔들며 인생의 마지막 길을 향해 달렸다. 2022년 5월 브니엘고에서 열린 사제지간 작별의 시간은 이렇게 유쾌하게 마무리 됐다.1969년부터 2008년 은퇴할 때까지 브니엘중·고교 교목, 수영로여자신학원장 등 평생 학원선교에 헌신한 이정삼(88) 석포교회 원로목사가 바로 그 스승이다. 이 목사를 지난 1일 부산시 남구 대연동 석포교회(채문식 목사)에서 만났다.이 목사는 “한편으론 미안하기도 하면서도 참으로 고마웠다”며 미소와 함께 당시를 회상했다. ‘아이들에게 좀 더 잘해줄걸’하고 후회했다는 이 목사는 학생들과의 인연을 두고 ‘은총’이라고 표현했다. 마치 ‘거래’하듯 만나는 세상의 만남이 아닌 하나님이 허락하신 은혜였다는 노(老) 선생의 고백이다. 인터뷰 내내 과거 학생들과의 추억을 세세히 쏟아낸 이 목사는 학생들의 이름을 매번 정확히 기억해냈다.“아(이)들이 최악의 상황에 부닥치면 유일하게 찾아오는 곳이 교목실입니다. 성경만 가르치는 선생님이 아니고. 저들 편이 돼주고, 문제를 해결해주니 편하게 찾아왔던 게 아닌가 싶어요.” 이 목사(가운데 머리에 손을 든 이)와 제자들이 2022년 5월 21일 부산 금정구 브니엘고등학교 운동장에서 손을 맞잡고 별 모양으로 선 뒤 기념 사진을 찍고 있다. 아래 사진은 제자들이 차에 탄 이
